滑动式双温区PECVD系统——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL （2019.12.23—半岛体育(中国)半岛有限公司实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、半岛体育(中国)半岛有限公司实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

▪ 滑轨式可快速加热和快速冷却；   

▪ 两个加热区，温度梯度最大可达 200ºC；

▪ 可在温度范围较大的条件下制备材料，如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。

▪ 最高温度：1200ºC（<30min），连续工作温度：1100℃；

▪ 两个PID温度控制器及50段可编程温控系统；

▪ 输入功率：208-240V，单相，最大功率：3KW；

▪ 高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗；

▪ 炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

多参数请联系半岛体育(中国)半岛有限公司销售部

▪ 半岛体育(中国)半岛有限公司公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

项目	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调 （稳定性：±1%）	0-500W可调 （稳定性：±1%）	0-100W可调 （稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	自动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC108-250V	AC108-250V	AC180-250V
图片

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10^-2Torr。

·搭配TRP-12的双旋真空泵（抽速3L/s）（总进气量小于150sccm，该泵可以达到等离子发生真空度）

·搭配TRP-60双旋真空泵（抽速10L/s）（总进气量1L/min，该泵可以达到等离子发生真空度）

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6.35mm的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

注：接入供气系统的气源需搭配减压阀，将气压降至2mpa以下

▪ 设备总体尺寸：2200mm L´800mm W´1500mm H

▪ 净重：610kg

采用氩气高于射频功率200w情况下，需特殊说明，设备需要特殊改造及测试，（有法兰过热情况）

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）

▪ 因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。